【正文目錄】

第一章 國內(nèi)外精密超精密加工技術(shù)發(fā)展概述    

第一節(jié) 精密超精密技術(shù)    

第二節(jié) 國內(nèi)外精密超精密加工技術(shù)發(fā)展現(xiàn)狀   

一、美國 

二、歐洲 

三、日本

四、中國 

第三節(jié) 精密超精密加工技術(shù)發(fā)展趨勢 

一、發(fā)展超精密加工技術(shù)基礎(chǔ)理論

二、擴展加工材料、工藝方法 

三、微納結(jié)構(gòu)功能表面超精密加工技術(shù)     

四、高效超精密加工  

五、超精密加工技術(shù)將向極致方向發(fā)展     

六、超精密加工向超精密制造發(fā)展

第二章 國內(nèi)外主要精密超精密加工技術(shù)     

第一節(jié) 精密超精密切削技術(shù)   

一、金剛石超精密切削     

二、超聲振動切削

三、微細切削 

四、激光加熱和熱超聲輔助切削加工  

第二節(jié) 精密超精密磨削技術(shù)   

一、超精密塑性磨削  

二、砂帶磨削 

三、鏡面磨削 

第三節(jié) 精密超精密拋光技術(shù)

一、超精密無損傷拋光     

二、非接觸拋光   

三、曲面超精密拋光  

四、計算機控制光學(xué)表面成形 

第四節(jié) 精密超精密特種加工技術(shù)  

一、電子束加工   

二、離子束加工   

三、激光束加工   

四、微細電火花加工  

五、微細電解加工

六、LIGA技術(shù)     

七、超精密微納米加工     

八、特種加工技術(shù)選擇原則    

第五節(jié) 精密超精密測量技術(shù)   

一、精密測量技術(shù)發(fā)展現(xiàn)狀    

二、精密測量技術(shù)與光刻機    

第六節(jié) 精密超精密環(huán)境控制技術(shù)  

第三章 國內(nèi)外精密超精密加工機床技術(shù)     

第一節(jié) 精密超精密加工機床結(jié)構(gòu)設(shè)計技術(shù) 

一、超精密機床高剛度特殊的結(jié)構(gòu)

二、五軸聯(lián)動機床發(fā)展及應(yīng)用 

第二節(jié) 精密超精密機床數(shù)控系統(tǒng)現(xiàn)狀

一、精密超精密機床的控制策略   

二、精密超精密機床數(shù)控系統(tǒng)現(xiàn)狀

第三節(jié) 精密五軸聯(lián)動加工與3D打印混合加工技術(shù)現(xiàn)狀    

第四節(jié) 精密超精密加工機床關(guān)鍵零部件    

一、超精密運動部件  

二、超精密驅(qū)動運動部件 

第四章 國內(nèi)外精密超精密加工設(shè)備及技術(shù)應(yīng)用 

第一節(jié) 國外典型精密超精密加工設(shè)備 

一、DTM-3和LODTM大型金剛石超精密車床     

二、AHN15-3D超精密自由曲面加工機   

三、Nanotech 650FG五軸聯(lián)動自由曲面磨床

四、Nanoform®L1000多軸超精密加工系統(tǒng) 

五、KERN Pyramid Nano高精密CNC微型加工中心

第二節(jié) 國內(nèi)主要精密超精密加工設(shè)備 

一、NAM-800型納米數(shù)控車床   

二、Nanosystem-1000數(shù)控光學(xué)加工機床    

三、CHD-25九軸五聯(lián)動車銑復(fù)合中心機床    

第三節(jié) 國內(nèi)外精密超精密加工技術(shù)應(yīng)用領(lǐng)域   

一、國防武器裝備

二、航空航天領(lǐng)域

三、集成電路領(lǐng)域

第四節(jié) 精密超精密加工技術(shù)應(yīng)用案例 

一、詹姆斯•韋伯太空望遠鏡MIRI儀器光譜儀鏡開發(fā)  

二、F-35復(fù)合蒙皮型材精密加工  

三、航空發(fā)動機葉片表面磨削 

四、發(fā)動機燃燒室冷卻通道精密加工  

五、美國國家點火裝置（NIF）    

六、精密測量在制造企業(yè)的數(shù)據(jù)應(yīng)用  

七、EFFICIENT light——通過晶片級玻璃模塑實現(xiàn)高效光纖-PIC連接

八、荷蘭ASML公司精密光刻機  

第五章 國內(nèi)外重點精密超精密加工技術(shù)與設(shè)備研制機構(gòu)

第一節(jié) 美國重點精密超精密加工技術(shù)與設(shè)備研制機構(gòu) 

一、勞倫斯•利弗莫爾國家實驗室（LLNL）     

二、羅切斯特大學(xué)光學(xué)研究所和光學(xué)加工中心（COM）   

三、美國Moore Nanotechnology System 公司

四、美國阿美特克集團（Ametek）   

第二節(jié) 歐洲重點精密超精密加工技術(shù)與設(shè)備研制機構(gòu) 

一、英國克蘭菲爾德大學(xué)精密工程研究所 

二、英國Zeeko公司 

三、德國弗勞恩霍夫應(yīng)用光學(xué)和精密工程研究所（IOF）  

四、德國庫格勒公司（KUGLER GmbH） 

五、德國KERN Microtechnik GmbH公司    

六、法國法孚集團

第三節(jié) 日本重點精密超精密加工技術(shù)與設(shè)備研制機構(gòu) 

一、發(fā)那科公司（FANUC）  

二、木村制作所   

三、不二越株式會社（Nachi Fujikoshi） 

四、捷太格特集團公司     

第四節(jié) 國內(nèi)重點精密超精密加工技術(shù)與設(shè)備研制機構(gòu) 

一、北京機床研究所有限公司 

二、北京航空精密機械研究所 

三、中科院上海光機所精密光學(xué)制造與檢測中心   

四、哈爾濱工業(yè)大學(xué)  

五、清華大學(xué)精儀系制造工程研究所  

六、浙江工業(yè)大學(xué)超精密加工研究中心     

七、香港理工大學(xué)超精密加工技術(shù)國家重點實驗室

八、湖南大學(xué)國家高效磨削工程技術(shù)研究中心 

第六章 國外精密超精密加工技術(shù)發(fā)展啟示及建議   

第一節(jié) 精密超精密加工技術(shù)發(fā)展意義 

一、衡量國家制造水平     

二、超精密加工體現(xiàn)了國家制造業(yè)的綜合實力 

三、現(xiàn)代高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)發(fā)展    

第二節(jié) 我國精密超精密加工技術(shù)與國際先進水平差距 

第三節(jié) 我國精密超精密加工技術(shù)發(fā)展思路建議